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時代が下り、集積度が10万を超えるものをVLSI、１000万を超えるものをULSIと呼んで区別した時代もあったが、21世紀に入ってからはこうした区別もほとんど使われなくなった。IC(集積回路)のうち、素子の集積度が10万～1000万個程度のもの。また、単に先端的な半導体技術や製品の総称。1980年代に、それまでよりも飛躍的に集積度が増加した先端製品を区別するために生み出された呼称だが、現在ではこうした区別はあまり使われず、単にLSIとかICと呼ぶ。集積度の意味から離れ、「先端的な半導体を扱っている」という意味で「VLSI研究センター」のように施設や組織の名称に使われる例は現在でもある。共鳴トンネル効果を用いた周波数特性が数THzの高性能素子。
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