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UV-C(波長200nm～280nm)オゾン層で守られている地表には今のところ到達しない。強い殺菌作用があり、生体に対する破壊性が最も強い。遠紫外線、真空紫外線(VUV)(波長200nm-10nm)酸素分子や窒素分子によって吸収されるため、通常は地表には到達しない。真空中でないと進行しないため「真空紫外線」VacuumUltraVioletと呼ばれる。極端紫外線(波長10nm以下)極端紫外線は、物質の電子状態の遷移により放出される。30nm近辺の波長は、価電子帯の電子が伝導帯に遷移する際に放出されるのに対し、それより短い波長のものは、内側の核電子のエネルギー状態の変化により放出される。この長波長側の端は、He+によるEUV/XUV放射が30.4nmである。波長の短いものはサイクロトロン放射によっても放出される。この領域の紫外線は、X線と分類されることもある。
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